氯化氢气体作为氯化物生产中的重要原材料，在三氯化氢硅的生产中也不例外。那么，以氯化氢作为重要合成剂的三氯氢硅都有哪些特殊性质呢？

    三氯氢硅别名为硅氯仿、硅仿、三氯硅烷；英文名：Trichlorosilane、Silicochloroform．三氯氢硅沸点为31.8℃，熔点为-126.5℃，自燃温度为185℃，在空气密度为1时，蒸汽相对密度为4.7，在空气中爆炸极限为1.2~90.5%(体积分数)。主要用途为单晶硅原料、外延成长、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造、电子气。主要制备方法：(1)在高温下Si和氯化氢反应。(2)用氢还原四氯化硅(采用含铝化合物的催化剂)。 
    三氯氢硅在常温常压下为具有刺激性恶臭易流动易挥发的无色透明液体。在空气中极易燃烧，在-18℃以下也有着火的危险，遇明火则强烈燃烧，燃烧时发出红色火焰和白色烟，生成SiO2、氯化氢气体和Cl2。

    在化学性质这方面，氯化氢气体和三氯氢硅有很多的共同点，都是危险性极强的，所以在运输储备过程中需要特别注意安全防护。