高纯气体压缩机润滑剂的选择取决于压缩机的结构类型、工作参数(压缩比、排气压力和排气温度等)及被压缩气体的性质等多种因素，高纯气体压缩机工作条件较为苛刻，高纯气体压缩机对润滑剂选择也较为严格，这里将重点予以说明。1、不同的压缩气体决定了对润滑剂类型的选择 在氧气压缩机里，氧分会使使矿物性润滑油剧烈氧化而引起压缩机燃烧和爆炸，因此避免采用油润滑，或者采用无油润滑的方式，或者采用水型乳化液或蒸馏水添加质量分数6%-8%的工业甘油进行润滑；在氯气压缩机里，烃基润滑油可与氯气化合生成氯化氢，对金属(铸铁和钢)具有强烈的腐蚀作用，因此一般均采用无油润滑或固体(石墨)润滑。高纯氯化氢气体压缩机对于压缩高纯气体的乙烯压缩机等为防止润滑油混入气体中去影响产品的质量和性能，通常也不采用矿物油润滑，而多用医用白油或液态石蜡润滑等等。只是在一般空气、惰性气体、烃类(碳氢化合物)气体、氮、氢等类气体压缩机中，大量广泛采用了矿物油润滑。

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