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电子特气净化技能的介绍
半导体和微电子技能向更高功能、更高集成度开展，对电子特气的纯度提出了越来越高的需求，电子特气的的净化更加重要。目前国内的超高纯度净化技能首要依靠进口，本身的技能水准（6N）与国际先进水平(8-9N)有较大距离。
本项目将描绘和研制一系列高效、高容量、高选择性、低成本的新式纳米净化剂，对MO源、惰性气体、氢化物气体、反响性气体、腐蚀性气体等5个系列，50多种电子特气进行结尾净化，使电子特气纯度由ppm级进步到ppb、ppt级，并将特气传输和控制系统对气体纯度的影响降至最小，然后极大地改进工艺才能，下降产物缺点， 进步制程的产值，满意下一代半导体、微电子以及关联高技能开展的需求。本项目将构成有自主知识产权的超高纯度电子特气净化技能，处理超高纯度电子特气净化这一核心技能的国产化问题。
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