HCl气体管件的安装
特殊气体的生产和运输要求我们前面已经讲过很多,安全的生产和运输条件满足以后,氯化氢气体到达需求企业车间后的安全操作规范也同样重要: 氯化氢气体管件在安装时,施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行,这样可以减少使用接头的数量,降低潜在的氯化氢气体泄漏风险。管件与管件间的连接最好以轨道式焊接法(Orbital Welding)来接合,对于不锈钢的焊接要采用氩弧焊,并向施焊管内通入同等纯度的氩气,这样可以确保连接的品质,并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳,从而造成氯化氢气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封(Metal to metal face seal)的方式进行。一般晶圆厂比较常用的氯化氢气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种,具体选用形式应根据生产工艺对高纯度氯化氢气体的用气要求和氯化氢气体本身特性进行选择。 以上内容由氯化氢生产厂家为您提供,要是还有什么疑问欢迎您随时来电咨询。我们生产的氯化氢气体纯度高、性质稳定,正是您生产所需的重要原料,欢迎您前来订购,我们愿与您共同发展!
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