微电子行业也就是电子工业，半导体制造所用的一些气体，先按照用途可以分为以下几类：掺杂气体、晶体生长气体、气相蚀刻气体、等离子蚀刻气体、离子束蚀刻气体、离子注入气体、化学气相淀积气体、外延气体等，今天我们要说的是微电子和太阳能需要的标准气体，下面就简单介绍一下。
    掺杂气体一般有砷烷、磷烷、锗烷、乙硼烷、三氯化硼等；晶体生长气体一般有硅烷、二氯二氢硅、乙硼烷、砷烷、磷烷、锗烷、三氯化硼、高纯氦气、高纯氩气、高纯氢气等等；气相蚀刻气体一般有氯气、氯化氢、氟化氢、溴化氢、六氟化硫等毒气和腐蚀性的气体居多；等离子蚀刻气体一般有四氟化碳、八氟丙烷、三氟甲烷、六氟乙烷、三氟化氮、六氟化硫、三氯化硼、高纯氮气、高纯氦气、高纯氩气等等；离子束蚀刻气体一般有八氟丙烷、三氟甲烷、四氟化碳等等；离子注入气体一般有磷烷、三氟化硼、三氯化硼、六氟化硫、高纯氢气、高纯氮气等等；化学气相淀积气体一般有硅烷、二氯二氢硅、氨气、一氧化氮、高纯氧气等等；外延气体一般有硅烷、二氯二氢硅、氯化氢、磷烷、砷烷、乙硼烷、高纯氦气、高纯氩气、高纯氢气、高纯氮气等等；这些种类的气体中有一些是标准气体，这些标准气体的平衡气基本上就是氮气、氩气、氦气、氢气、二氧化碳、笑气、氧气。

    电子和太阳能行业使用最常见的气体是硅烷，硅烷气体在空气中会自燃，所以极其危险，随着新能源产业的发展，太阳能行业异军突起，使得硅烷产量大增。

    特种气体有很多种，今天简单跟大家介绍这么多，如果有更多特气方面的疑问，欢迎致电淄博言赫特气有限公司：86-0533-8955588