三氯氢硅生产中HCL是必不可少的，但是因其腐蚀性，在生产工艺上还是有很多弊端。
    三氯氢硅的传统合成方法是氯化氢和硅粉在沸腾炉中反应,这种方法副产15%～20%的四氯化硅。虽然四氯化硅可通过氢化工艺转化为三氯氢硅,但需要在高温、高压条件下完成,且能耗高,腐蚀设备,资金投入也较大。目前四氯氢硅主要靠生产硅酸乙酯寻找出路,但是随着有机硅行业的迅猛发展,三氯氢硅的产量不断提高,副产品四氯化硅的产量也随之增加,生产硅酸乙酯只消耗有限的四氯化硅,这直接影响了三氯氢硅的生产。因此,必须采取有效的方法提高三氯氢硅的收率,减少四氯化硅的产量。

    副产氯化氢现常被回收制成盐酸以供化工生产。那么副产四氯化硅也一样可以通过合理的手段和工艺得到很好的再利用。